臭氧由于易分解不能像氧氣那樣生產后儲存在鋼瓶內備用，只能邊產生邊使用。產生臭氧的設備即為臭氧發生器，目前應用的臭氧發生器多是利用交變高壓電場產生電暈放電使空氣中的部分氧氣O2分解、聚合為臭氧O3的。
空氣、物品殺菌消毒選用“開式”發生器，它結構簡單，使用方便。產生臭氧濃度較低，不需再擴散稀釋。臭氧產量規格，德國生產臭氧發生器廠家DEMAG推薦如表5
根據多年實踐經驗，間斷使用臭氧，食品加工車間按500m3空間選用一臺3g/h產量臭氧發生器;果蔬貯藏庫1000m3庫容選用一臺15g/h產量臭氧發生器;冷庫消毒要求濃度高，可集中多臺發生器連續開機48小時以上。
作水處理應用應選擇標準型發生器，由于水-氣接觸時間短，要求臭氧濃度達到10mg/L以上。因此標準型發生器要有空氣干燥處理系統，結構復雜。礦泉水、飲用水、食品加工用水均可按1m3水投加2.0～2.5g臭氧設計，按每小時處理水量選擇發生器規格即可。
由于臭氧比空氣重，開式發生器臭氧出口應選在高處，使臭氧自上而下擴散濃度比較均勻。一個車間裝多臺發生器時，應注意布置使臭氧濃度均勻，同時離門遠一點
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