一、沿面放電式電極
沿面放電式臭氧發生器：即一般用玻璃管做介電材料，分管內通氣和管外通氣，一種是內電極貼在玻璃管內壁上的鋁網，外電極是石墨等導電涂層管內通氣體。另一種是玻璃管內充氮氣和少量的氬氣或者氪氣，充氣壓力為數千pa，內電極是一根鎳絲，外電極是套在玻璃管外壁上的鋁網。管外通過氣體。
以上兩種電極只有沿管壁流過的少量氣體參與放電，產量低，臭氧發生器 產量隨使用時間的積累會逐漸減低。同時臭氧發生器可靠性差，壽命短。一般壽命為3000-6000小時左右，但成本低，生產簡單，有幾個人就可以組裝生產，一般沒有完善的檢驗設備。
二、間隙放電式電極
一種是用陶瓷管做介電材料，外壁鍍金屬鍍層為外電極，金屬管為內電極，管內通水冷卻。氧氣從內外電極間的縫隙中通過。另一種是板式陶瓷介質間隙放電電極。風冷或者水冷，氧氣從兩電極間的縫隙中通過。
以上兩種臭氧發生器：電極氣體全部從電極間隙中通過參與放電，產量高，可靠性高，壽命長超 過30000小時。臭氧產量與設備使用時間無關，但成本高，需要精加工，組裝調試復雜，需要工廠化生產。有完善的檢測設備。
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